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INFICON推出用于OLED沉积的镁敏晶体

添加时间:2022/09/23

    一直以来,不少OLED生产商都面临着OLED生产过程中镁材料的沉积问题。为了解决这类问题,INFICON宣布开发出专门用于OLED沉积的高水平镁敏晶体,显著缩短了镁监测的初始时间延迟,同时保持了高稳定性和再现性。

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图片来源:INFICON

    石英晶体微天平(QCM)是INFICON最重要的产品之一,用于有机发光二极管(OLED)和光学器件制造,以及许多其他应用。由于薄膜的质量负载,QCM的共振频率发生了变化,这使得它可以被用作测量衬底上薄膜厚度积累速率的替代方法。

    INFICON高精度传感器晶体的设计是基于许多OLED制造商对更稳定的晶体的要求,在控制OLED材料的沉积时,更不容易出现活性下降(活性信号的不稳定)。INFICON高精度传感器晶体的场性能表明,在出现的次数和很少发生时的量级方面,活性下降几乎消失提高了速率稳定性。

    此前,OLED行业还没有快速检测镁的解决方案。用户必须解决这个镁延迟问题,在实际沉积监测之前,在相同的真空室中用镁预涂晶体。这一额外步骤的预涂镁需要相当耗时,昂贵且浪费材料。

    为了开发镁敏OLED晶体生产线,INFICON详细研究了晶体制造的所有组件和加工参数,包括晶体的形状和光洁度、电极厚度、电极材料和电极的涂覆率。通过对各种晶体的制备、测试和分析,优化了材料和工艺参数。使用经过研究和现场验证的优化材料和工艺参数,INFICON镁敏OLED晶体由此诞生。

    INFICON目前为标准镁敏OLED晶体生产线提供金和合金电极材料。此外,更高等级和更稳定的镁敏晶体生产线(基本上没有活性下降)也可用于这两种电极材料。

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