添加时间:2025/03/12
据了解,智芯达首台(套)巨量转移侧边磁控溅射成膜机成功下线。
巨量转移侧边磁控溅射成膜机采用了国际领先的3D磁控溅射技术,低温低损技术,通过优化阴极靶材应用、磁场控制和等离子体区域限制等关键技术,显著提升了成膜稳定性和成膜附着力,同时降低了高温损伤,为Micro-LED无缝无限拼接性能提升提供了强有力的支持。
智芯达是一家集研发、制造、销售半导体于一体的新型显示领域核心设备生产企业,是国内唯一拥有侧面布线工艺全套设备集成制造的开创者。拥有多项国际国内专利技术,制造设备有:3D侧面布线真空溅镀设备、半导体芯片电磁屏蔽溅镀设备、Micro-OLED低温低损溅镀设备与半导体的TSV/TGV溅镀设备。
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